FESTO壓力比例閥MPPE-3-1/8-10-010-B 的優(yōu)點是線性度好，滯回小，動態(tài)性能高?；y式二級方向伺閥下圖所示為一種動圈式二級方向伺服閥。它主要由動圈式力馬達(dá)、噴嘴擋板式氣動放大器、滑閥式氣動放大器、反饋彈簧等組成。噴嘴檔板氣動放大器做前置級，滑閥式氣動放大器做功率級。
這種二級方向伺服閥的工作原理是：在初始狀態(tài)，左右兩動圈式力馬達(dá)均無電流輸入，也無力輸出。在噴嘴氣流作用下，兩擋板使可變節(jié)流器處于全開狀態(tài)，容腔3、7內(nèi)壓力幾乎與大氣壓相同?；y閥芯被裝在兩側(cè)的反饋彈簧5、6推在中位，兩輸出口A、B與氣源口P和排氣口O均被隔開。

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    FESTO壓力比例閥和伺服閥主要由電---機械轉(zhuǎn)換器和氣動放大器組成。但隨著近年來廉價的電子集成電路和各種檢測器件的大量出現(xiàn)，在1電---氣比例/伺服閥中越來越多地采用了電反饋方法，這也大大提高了比例/伺服閥的性能。電---氣比例/伺服閥可采用的反饋控制方式，閥內(nèi)就增加了位移或壓力檢測器件，有的還集成有控制放大器。滑閥式電---氣方向比例閥流量式四通或五通比例控制閥可以控制氣動執(zhí)行元件在兩個方向上的運動速度，這類閥也稱方向比例閥。圖示即為這類閥的結(jié)構(gòu)原理圖。它由直流比例電磁鐵1、閥芯2、閥套3、閥體4、位移傳感器5和控制放大器6等贊成。位移傳感器采用電感式原理，它的作用是將比例電磁鐵的銜鐵位移線性地轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出。控制放大器的主要作用是：
    FESTO壓力比例閥
    1） 將位移傳感器的輸出信號進(jìn)行放大；
    2） 比較指3） 令信號Ue和位移反饋信號Uf，4） 得到兩者的差植5） U；
    6） 將 U放大，7） 轉(zhuǎn)換為電流信號I輸出。此外，8） 為了改善比例閥的性能，9） 控制放大器還含有對反饋信號Uf和電壓差 U的處理環(huán)節(jié)。比如狀態(tài)反饋控制和PID調(diào)節(jié)等。
    帶位置反饋的滑閥式方向比例閥，其工作原理是：在初始狀態(tài)，控制放大器的指令信號UF=0，閥芯處于零位，此時氣源口P與A、B兩端輸出口同時被切斷，A、B兩口與排氣口也切斷，無流量輸出；同時位移傳感器的反饋電壓Uf=0。若閥芯受到某種干擾而偏離調(diào)定的零位時，位移傳感器將輸出一定的電壓Uf，控制放大器將得到的 U=-Uf放大后輸出給電流比例電磁鐵，電磁鐵產(chǎn)生的推力迫使閥芯回到零位。若指令Ue>0，則電壓差 U增大，使控制放大器的輸出電流增大，比例電磁鐵的輸出推力也增大，推動閥芯右移。而閥芯的右移又引起反饋電壓Uf的增大，直至Uf與指令電壓Ue基本相等，閥芯達(dá)到力平衡。此時。Ue=Uf=KfX（Kf為位移傳感器增益）